ATH 3204/2303 M磁悬浮涡轮分子泵 ATH 3204 M磁悬浮涡轮分子泵 ATH 2303 M磁悬浮涡轮分子泵3. ASM 380检漏仪 ASM 380检漏仪...
分子泵按照轴承润滑方式的不同可分为油润滑、脂润滑及磁悬浮分子泵。随着真空技术的不断进步和真空应用工艺需求的不断提升,磁悬浮分子泵的应用越来越广泛。磁悬浮分子泵有哪些优点?我国首台磁悬浮分子泵是如何突破技术壁垒的?磁悬浮分子泵与半导体制造工艺有着怎样的联系?6月18日,磁悬浮分子泵技术及应用直播与您相约,让我们一起解锁磁悬浮分子泵的“奥秘”。...
记者走进中科科仪真空技术实验室看到,研发中心的工程师们正在全方位进行半导体前道工艺专用磁悬浮分子泵的各项性能测试,进一步扩大半导体装备“心脏部件”——磁悬浮分子泵的国产化水平,为我国半导体产业链自主可控贡献力量。 ...
作为国内真空技术的领军者,中科科仪在真空获得产品研发与制造方面具有丰富的经验,成功研制中国第一台具有自主知识产权的磁悬浮分子泵,主导制定中国磁悬浮分子泵行业标准,陆续推出系列磁悬浮分子泵产品,完成供应链自主可控,实现科技成果规模产业化,全力突破“卡脖子”问题。...
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