EN ISO 25178-603-2009
产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments

 

 

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标准号
EN ISO 25178-603-2009
发布日期
2009年08月01日
实施日期
废止日期
无
中国标准分类号
A41
国际标准分类号
17.040.20
发布单位
IX-CEN

EN ISO 25178-603-2009系列标准

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