ISO 18114:2021
表面化学分析. 次级离子质谱法. 测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
- 标准号
- ISO 18114:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 18114:2021
- 引用标准
- ISO 18115 (all parts)
- 适用范围
- 本文件规定了一种根据离子注入参考材料确定二次离子质谱 (SIMS) 相对灵敏度因子 (RSF) 的方法。 该方法适用于基体化学成分均匀、注入物质峰值浓度不超过1个原子百分比的样品。
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