ISO 18114:2003
表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
- 标准号
- ISO 18114:2003
- 发布
- 2003年
- 中文版
- GB/T 25186-2010 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 18114:2021
- 当前最新
- ISO 18114:2021
- 引用标准
- ISO 18115
- 适用范围
- 本国际标准规定了从离子注入参考材料中确定二次离子质谱（SIMS）相对灵敏度因子（RSF）的方法。 该方法适用于基体化学成分均匀、注入物质峰值浓度不超过1个原子百分比的样品。