PNS ISO 14644-14:2021
洁净室和相关受控环境.第14部分：通过空气颗粒浓度评估设备的适用性

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration


 

 

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标准号
PNS ISO 14644-14:2021
发布
2021年
发布单位
PH-BPS
当前最新
PNS ISO 14644-14:2021
 
 
适用范围
PNS ISO 14644 的这一部分规定了一种方法，用于评估洁净室和相关受控环境中使用的设备（例如机械、测量设备、工艺设备、组件和工具）的适用性，其中空气颗粒洁净度如下：

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