ISO14644-14 根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性 2016 指定设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法 ISO14644-15 通过悬浮化学物浓度评估设备和材料的适用性 2017 将用于洁净室及其相关受控环境中的设备和材料引起的化学物洁净度提出要求和指南 ISO14644-16 提高洁净室和净化设备能效的实施指南 ...
级105600008790052800043951000,000级35200000293000176000014650ISO 14644-1:1999洁净室及相关受控环境/第1部分:空气洁净度等级洁净室及洁净区空气洁净度整数等级与传统分级对照表ISO等级N大于或等于关注粒径的粒子最大浓度限值(个/m3)FS 209E传统分级0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mmISO 1级102...
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洁净室等级要求为保证洁净室及相关环境达到受控标准,对其基本的空气热湿处理设备、空气净化设备、空气动力设备、空气分布系统、冷热源设备、高效送风口、净化工作台、洁净单元、风淋室、传递窗及微环境以及洁净服、洁净手套、口罩、清洁用品等也有特殊要求。但是在洁净度标准方面并没有说明洁净室的物理特性、化学特性、放射特性或悬浮粒子的特性。...
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