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此次修订增加了0.01级准确度等级以及相应的技术指标等内容。 电离真空计是真空测量仪器。此次修订发布的电离真空计校准规范适用于测量范围在1×10-9 Pa — 1×102 Pa的电离真空计校准。电离真空计广泛应用于航天、电子、重离子加速器、核聚变、芯片生产等领域,其量值的准确有利于科研的开展和产品质量的提升。 ...
真空计或分压计在工业的诸多领域内用于过程控制,特别是在半导体工业。电离真空计用于高真空和超高真空范围内的现场校准和监测。这些器件的原理是利用快速电子对气体分子进行电离,然后测量产生的离子电流。为了实现溯源,传统的电离真空计不仅必须对氮气进行单独校准,而且还必须对每种情况下使用的气体进行单独校准,因为对特定类型气体的灵敏度取决于所使用的单个器件。...
测量 B(QMS**- 测量): 在测量室泵的阀门打开时,测出质量 0-200 amu 和此刻的压力(真空计IMR 070 )。所有这些值都存入此次测量所对应的文件中并进行计算。得到具体的灵敏度 E,用于近似计算出分压。...
普发真空提供三种不同的总压真空计。选择真空计的标准由不同因素决定:① 待检测的压力范围 ② 气体成分(惰性或腐蚀性) ③ 所需精度和可重复性 ④ 环境条件,例如放射性每种类型的产品都能覆盖整个压力范围。普发真空提供您最完美的总压测量真空解决方案。...
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