元素分析+硅

本专题涉及元素分析+硅的标准有3条。

国际标准分类中，元素分析+硅涉及到绝缘流体、集成电路、微电子学。

在中国标准分类中，元素分析+硅涉及到半金属及半导体材料分析方法、半导体分立器件综合。

国家质检总局，关于元素分析+硅的标准

• GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

德国标准化学会，关于元素分析+硅的标准

• DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

，关于元素分析+硅的标准

• STAS 9163/16-1973 硅铝矿产品铁、钛、铜、镁、锰、铜元素的谱分析

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