GB/T 4298-1984
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
GBT4298-1984, GB4298-1984
2017-12
- 标准号
- GB/T 4298-1984
- 别名
- GBT4298-1984, GB4298-1984
- 发布
- 1984年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 4298-1984
- 适用范围
- 本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
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