晶体 密度

本专题涉及晶体 密度的标准有5条。

国际标准分类中，晶体 密度涉及到半导体材料、有色金属。

在中国标准分类中，晶体 密度涉及到元素半导体材料、半金属与半导体材料综合、半导体分立器件综合、半金属。

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于晶体 密度的标准

• GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
• GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

德国标准化学会，关于晶体 密度的标准

• DIN 50446-1995 半导体工艺材料的检验.硅晶体外延层缺陷种类和缺陷密度的测定

，关于晶体 密度的标准

• KS D 0264-1989(2019) 锗晶体的蚀刻坑密度的测量方法

日本工业标准调查会，关于晶体 密度的标准

• JIS H0610-1966 锗晶体浸蚀点密度的测定方法

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