锗晶体的蚀刻坑密度的测量方法 不是强制性中国国家标准,您可以免费下载预览页
非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 KS D 0264-1989(2019) 前三页,或者稍后再访问。
您也可以尝试购买此标准,点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购(由第三方提供)。
KLA-Tencor Candela CS920是一个晶圆表面缺陷检查系统,可以在一个单一检测平台上实现表面探测和光致发光(PL)技术,用于检测微蚀坑、萝卜状蚀坑、彗星状蚀线、三角形蚀坑和层错等表面缺陷。透过参数不同的通道之间的交叉相关(镭射波长、表面角度、散射光幅度),实现巨集微缺陷检测和自动分类。 汞探针电容电压(Hg-CV)测量法用于评估掺杂浓度(从原级平台到顶部直径是17点)。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved 京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号