硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

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国际标准分类中，硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法涉及到有色金属。

在中国标准分类中，硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法涉及到电工绝缘材料及其制品、贵金属及其合金。

行业标准-有色金属，关于硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法的标准

• YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

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