液体光学粒子计数器

本专题涉及液体光学粒子计数器的标准有3条。

国际标准分类中，液体光学粒子计数器涉及到半导体材料、绝缘流体。

在中国标准分类中，液体光学粒子计数器涉及到半金属及半导体材料分析方法、元素半导体材料。

德国标准化学会，关于液体光学粒子计数器的标准

• DIN 50452-2-2009 半导体技术用材料的试验.液体中粒子分析的试验方法.第2部分:利用光学粒子计数器测定粒子
• DIN 50452-3-1995 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正
• DIN 50452-2-1991 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定

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