DIN 50452-2:1991
半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters

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标准号

DIN 50452-2:1991

发布

1991年

发布单位

德国标准化学会

替代标准

DIN 50452-2:2009

当前最新

DIN 50452-2:2009-10

 

 

适用范围

The standard defines the test method for the determination of the concentration of particles in liquids with optical particle counters.

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