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压电薄膜

本专题涉及压电薄膜的标准有10条。

国际标准分类中,压电薄膜涉及到电气工程综合、频率控制和选择用压电器件与介质器件、电阻器。

在中国标准分类中,压电薄膜涉及到电子技术专用材料、、电阻器。


行业标准-电子,关于压电薄膜的标准

中国团体标准,关于压电薄膜的标准

英国标准学会,关于压电薄膜的标准

  • BS IEC 62047-30:2017 半导体器件 微机电器件 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
  • BS IEC 62047-36:2019 半导体器件 微机电器件 MEMS压电薄膜的环境和介电耐受测试方法
  • BS IEC 62047-37:2020 半导体器件 微机电器件 传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法
  • 18/30383935 DC BS EN IEC 62047-37 半导体器件 微机电装置 第37部分 传感器应用MEMS压电薄膜的环境测试方法

国际电工委员会,关于压电薄膜的标准

  • IEC 62047-30:2017 半导体器件 - 微机电器件 - 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法
  • IEC 62047-36:2019 半导体器件微机电器件第36部分:MEMS压电薄膜的环境和介电耐受试验方法
  • IEC 62047-37:2020 半导体器件微机电器件第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

美国国防后勤局,关于压电薄膜的标准


压电薄膜压电式 薄膜压电压电陶瓷 压电常数压电材料压电常数表面压电压电 材料铋 压电压电测量压电材料压电 频率压电 仪器压电陶瓷压电 链压电 检测压电片压电 常数压电piezo压电换能器压电单晶

 

可能用到的仪器设备

 

TESCAN 4D-STEM TENSOR

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TESCAN(中国)

 

赛默飞(原FEI) Talos F200S G2 S/TEM 透射电镜

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Talos透射电镜

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赛默飞电子显微镜(原FEI)

 

透射电镜(TEM)用氮化硅薄膜窗口

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ASTM D3265 氧化锌(着色专用)

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北京冠远科技有限公司

 

 




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