光阻剂材料

本专题涉及光阻剂材料的标准有1条。

国际标准分类中，光阻剂材料涉及到半导体材料。

在中国标准分类中，光阻剂材料涉及到半金属及半导体材料分析方法。

德国标准化学会，关于光阻剂材料的标准

• DIN 50455-1-2009 半导体技术用材料的试验.表征光阻剂方法.第1部分:涂层厚度的光学法测定

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