DIN 50455-1:2009
半导体技术用材料的试验.表征光阻剂方法.第1部分:涂层厚度的光学法测定
Testing of materials for semiconductor technology - Methods for characterizing photoresists - Part 1: Determination of coating thickness with optical methods
- 标准号
- DIN 50455-1:2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50455-1:2009-10
- 当前最新
- DIN 50455-1:2009-10
- 引用标准
- EN ISO 14644-1
- 被代替标准
- DIN 50455-1:2008 DIN 50455-1:1991
DIN 50455-1:2009相似标准
推荐
UPLC和质谱技术在集成电路制造光刻工艺中的应用
图5.光阻涂层溶液分析（UPLC/MS ESI正离子扫描模式）02批次质控分析取2批次样品，2355为控释样品，2356为需要监控的测试样品，每批次取3个样品，用含有0.1 %甲酸的乙腈/水（1/10）溶液稀释，并通过UPLC（1 μL进样，2次/样品）分离，UV和MS表征。在Empower自定义计算功能下，比较批次间的差异性。...
工信部批准303项行业标准 含54项检测标准
2015-06-0119HG/T 4767.3-2014颜料和体质颜料 塑料加工过程中颜色热稳定性的试验 第3部分：烘箱法本部分规定了用烘箱试验法测定塑料中的着色剂在规定条件下的颜色热稳定性的方法。其测定结果为相对值，而不是绝对值。本方法主要用于测试聚氯乙烯和热固性材料中的着色剂。...
86项分析测试方法国标本月起正式实施
划痕法GB/T 30708-2014低密度矿物棉毯状绝热材料热阻评价方法GB/T 30709-2014层压复合垫片材料压缩率和回弹率试验方法GB/T 30710-2014层压复合垫片材料蠕变松弛率试验方法GB/T 30711-2014摩擦材料热分解温度测定方法GB/T 30758-2014耐火材料 动态杨氏模量试验方法（脉冲激振法）GB/T 30773-2014气相色谱法测定 酚醛树脂中游离苯酚含量...
征求意见丨139项拟立项推荐性国家标准项目
2021/3/1981聚合物长期辐射老化 第4部分：辐射条件下不同温度和剂量率的影响制订2021/3/1982纳米技术 纳米材料遗传毒性试验方法指南制订2021/3/1983光学和光子学 环境试验方法 第2部分：低温、高温、湿热修订2021/3/1984微细气泡技术 微气泡的表征 第1部分：粒径指数的离线评估制订2021/3/1985人类工效学 家居无障碍设计要求制订2021/3/1986海洋灾害承灾体易损性评估技术规范制订...