表面 分析 技术

本专题涉及表面 分析 技术的标准有4条。

国际标准分类中，表面 分析 技术涉及到集成电路、微电子学、石油和天然气工业设备、真空技术。

在中国标准分类中，表面 分析 技术涉及到半导体分立器件综合、海洋石油作业用设备、真空技术与设备。

德国标准化学会，关于表面 分析 技术的标准

• DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
• DIN 28400-6-1980 真空技术.表面分析技术的术语和定义

国际标准化组织，关于表面 分析 技术的标准

• ISO 10418:2003/cor 1:2008 石油和天然气工业.近海生产装置.基础表面操作安全系统的分析、设计、安装和测试.技术勘误1

，关于表面 分析 技术的标准

• ONORM M 1113-1982 技术曲面．表面分析方法

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