椭圆偏振仪
本专题涉及椭圆偏振仪的标准有4条。
国际标准分类中，椭圆偏振仪涉及到长度和角度测量、有色金属、半导体材料。
在中国标准分类中，椭圆偏振仪涉及到基础标准与通用方法、电工绝缘材料及其制品、贵金属及其合金。
国家质检总局，关于椭圆偏振仪的标准
- GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
国家军用标准-总装备部，关于椭圆偏振仪的标准
- GJB 8373-2015 椭圆应力区型偏振保持光纤规范
行业标准-有色金属，关于椭圆偏振仪的标准
- YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
美国材料与试验协会，关于椭圆偏振仪的标准
- ASTM F576-00 用椭圆偏振法测量硅衬底上绝缘体厚度和折射率的标准试验方法
