硅 浓度 测量

本专题涉及硅 浓度 测量的标准有4条。

国际标准分类中，硅 浓度 测量涉及到半导体材料、分析化学。

在中国标准分类中，硅 浓度 测量涉及到元素半导体材料。

行业标准-电子，关于硅 浓度 测量的标准

• SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
• SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

，关于硅 浓度 测量的标准

• KS D ISO 14237-2003(2018) 表面下学分析-二次离子质量分析-硅内均匀添加的硼原子浓度的测量方法

澳大利亚标准协会，关于硅 浓度 测量的标准

• AS ISO 14237:2006 表面化学分析．次级离子质谱测量法．使用均一的绝缘材料测定硅中的硼原子浓度

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