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多层分析

本专题涉及多层分析的标准有5条。

国际标准分类中，多层分析涉及到半导体材料、分析化学。

在中国标准分类中，多层分析涉及到、基础标准与通用方法。

GB-REG，关于多层分析的标准

• REG NASA-LLIS-1359-2002 经验教训 Chandra 镀银聚四氟乙烯/多层绝缘 (MLI) 退化分析

中国团体标准，关于多层分析的标准

• T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱

法国标准化协会，关于多层分析的标准

• NF X21-066*NF ISO 23812:2009 表面化学分析 次级离子质谱分析法 用多δ层参考物质对硅进行深度校准的方法
• NF ISO 14606:2008 表面化学分析 通过轰击进行厚度分析 使用单层或多层系统作为参考材料进行优化

英国标准学会，关于多层分析的标准

• BS ISO 23812:2009 表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方法

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