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使用扫描电镜

本专题涉及使用扫描电镜的标准有2条。

国际标准分类中，使用扫描电镜涉及到物理学、化学、分析化学。

在中国标准分类中，使用扫描电镜涉及到电子元件综合。

国际标准化组织，关于使用扫描电镜的标准

• ISO/TS 10798:2011 纳米技术.使用扫描电镜与X射线能谱分析的单臂碳纳米管的特征描述
• ISO/WD TR 23683:2023 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用电扫描探针显微镜对半导体器件中载流子浓度进行实验量化的指南

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