次级离子质谱 分析法

本专题涉及次级离子质谱 分析法的标准有7条。

国际标准分类中，次级离子质谱 分析法涉及到分析化学。

在中国标准分类中，次级离子质谱 分析法涉及到化学、基础标准与通用方法。

美国材料与试验协会，关于次级离子质谱 分析法的标准

• ASTM E1504-2011 次级离子质谱分析法中报告质谱数据的标准操作规程
• ASTM E1162-2011 报告次级离子质谱分析法(SIMS)中溅深深度文件数据的标准操作规程

法国标准化协会，关于次级离子质谱 分析法的标准

• NF X21-066-2009 表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层参考物质对硅进行深度校准的方法

英国标准学会，关于次级离子质谱 分析法的标准

• BS ISO 23812-2009 表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方法
• BS ISO 23812-2009 表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方法

澳大利亚标准协会，关于次级离子质谱 分析法的标准

• AS ISO 17560-2006 表面化学分析．次级离子质谱测量法．硅中注入硼的深度分布分析法
• AS ISO 17560-2006 表面化学分析．次级离子质谱测量法．硅中注入硼的深度分布分析法

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可能用到的仪器设备