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光致抗蚀剂

本专题涉及光致抗蚀剂的标准有2条。

国际标准分类中，光致抗蚀剂涉及到集成电路、微电子学。

在中国标准分类中，光致抗蚀剂涉及到电子技术专用材料。

国家质检总局，关于光致抗蚀剂的标准

• GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

美国材料与试验协会，关于光致抗蚀剂的标准

• ASTM F582-78(1991)e1 无机污染物分析用光致抗蚀剂的制备实施规程

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