GB/T 16527-1996
硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
GBT16527-1996, GB16527-1996
- 标准号
- GB/T 16527-1996
- 别名
- GBT16527-1996, GB16527-1996
- 发布
- 1996年
- 采用标准
- SEMI P3-1990 EQV
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16527-1996
- 适用范围
- 本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。 本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
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