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扫描电镜测量

本专题涉及扫描电镜测量的标准有5条。

国际标准分类中，扫描电镜测量涉及到长度和角度测量、光学设备、分析化学、表面处理和镀涂。

在中国标准分类中，扫描电镜测量涉及到电子光学与其他物理光学仪器、电化学、热化学、光学式分析仪器、材料防护。

国家质检总局，关于扫描电镜测量的标准

• GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法
• GB/T 17722-1999 金属盖层厚度的扫描电镜测量方法
• GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则
• GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

行业标准-机械，关于扫描电镜测量的标准

• JB/T 7503-1994 金属覆盖层横截面厚度.扫描电镜测量方法

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可能用到的仪器设备