Für die Elliptische Polarisation gibt es insgesamt 4 relevante Standards.
In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Elliptische Polarisation die folgenden Kategorien: Längen- und Winkelmessungen, Nichteisenmetalle.
+++++ Methode zur Messung der Dicke einer dünnen Siliziumdioxidschicht auf einer Siliziumoberfläche mit einem Ellipsometer, Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie, Elliptische Polarisationstestmethode für Dicke und Brechungsindex von Isolatorfilmen auf Siliziumsubstraten, Elliptische Polarisation, Ellipsometer.
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