Für die Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie gibt es insgesamt 1 relevante Standards.
In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie die folgenden Kategorien: Längen- und Winkelmessungen.
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