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Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie

Für die Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie gibt es insgesamt 1 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie die folgenden Kategorien: Längen- und Winkelmessungen.


General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie

  • GB/T 31225-2014 Testverfahren für die Dicke von Siliziumoxid auf Si-Substrat mittels Ellipsometer




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