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Parameter von Ionensputtergeräten

Für die Parameter von Ionensputtergeräten gibt es insgesamt 11 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Parameter von Ionensputtergeräten die folgenden Kategorien: Fluidsysteme und allgemeine Teile, Vakuumtechnik, analytische Chemie, Strahlungsmessung, Strahlenschutz.


Professional Standard - Machinery, Parameter von Ionensputtergeräten

Professional Standard - Electron, Parameter von Ionensputtergeräten

  • SJ 1779-1981 Gewöhnliche Zwei-Elektroden-Sputter-Ionenpumpe – Parameterreihe

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Parameter von Ionensputtergeräten

  • GB/T 25755-2010 Vakuumtechnik.Sputter-Ionenpumpen.Messung von Leistungsmerkmalen

American Society for Testing and Materials (ASTM), Parameter von Ionensputtergeräten

  • ASTM E1162-11(2019) Standardpraxis für die Meldung von Sputtertiefenprofildaten in der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)
  • ASTM E1162-06 Standardpraxis für die Meldung von Sputtertiefenprofildaten in der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)

British Standards Institution (BSI), Parameter von Ionensputtergeräten

  • PD IEC/TS 62743:2012 Strahlenschutzinstrumentierung. Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung

RU-GOST R, Parameter von Ionensputtergeräten

  • GOST 26874-1986 Leistungsspektrometer für ionisierende Strahlung. Methoden zur Messung grundlegender Parameter
  • GOST 18230-1972 Stromversorgung für spektrometrische Halbleiter-Strahlungsdetektoren. Typen und Grundparameter

International Electrotechnical Commission (IEC), Parameter von Ionensputtergeräten

  • IEC TS 62743:2012 Strahlenschutzinstrumentierung - Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung

German Institute for Standardization, Parameter von Ionensputtergeräten

  • DIN IEC/TS 62743:2013 Strahlenschutzinstrumentierung – Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung (IEC/TS 62743:2012)

RO-ASRO, Parameter von Ionensputtergeräten

  • STAS R 12771-1989 SPEZIFIKATION FÜR X- UND T-REFERENZSTRAHLUNGEN ZUR KALIBRIERUNG VON DOSEMETERN UND DOSISLEISTUNGSMESSERN UND ZUR BESTIMMUNG DER THBIR-REAKTION ALS FUNKTION DER PHOTONENERGIE




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