Parameter des Ionensputtergeräts

Für die Parameter des Ionensputtergeräts gibt es insgesamt 13 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Parameter des Ionensputtergeräts die folgenden Kategorien: Fluidsysteme und allgemeine Teile, Vakuumtechnik, analytische Chemie, Strahlungsmessung, Strahlenschutz.

Professional Standard - Machinery, Parameter des Ionensputtergeräts

JB/T 4081-1991 Typ und grundlegende Parameter der Sputter-Ionenpumpe

Professional Standard - Electron, Parameter des Ionensputtergeräts

SJ 1779-1981 Gewöhnliche Zwei-Elektroden-Sputter-Ionenpumpe – Parameterreihe

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Parameter des Ionensputtergeräts

GB/T 25755-2010 Vakuumtechnik.Sputter-Ionenpumpen.Messung von Leistungsmerkmalen

American Society for Testing and Materials (ASTM), Parameter des Ionensputtergeräts

ASTM E1162-87(2001) Standardpraxis für die Meldung von Sputtertiefenprofildaten in der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)
ASTM E1162-87(1996) Standardpraxis für die Meldung von Sputtertiefenprofildaten in der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)
ASTM E1162-11(2019) Standardpraxis für die Meldung von Sputtertiefenprofildaten in der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)
ASTM E1162-06 Standardpraxis für die Meldung von Sputtertiefenprofildaten in der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)

British Standards Institution (BSI), Parameter des Ionensputtergeräts

PD IEC/TS 62743:2012 Strahlenschutzinstrumentierung. Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung

RU-GOST R, Parameter des Ionensputtergeräts

GOST 26874-1986 Leistungsspektrometer für ionisierende Strahlung. Methoden zur Messung grundlegender Parameter
GOST 18230-1972 Stromversorgung für spektrometrische Halbleiter-Strahlungsdetektoren. Typen und Grundparameter

International Electrotechnical Commission (IEC), Parameter des Ionensputtergeräts

IEC TS 62743:2012 Strahlenschutzinstrumentierung - Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung

IEC - International Electrotechnical Commission, Parameter des Ionensputtergeräts

TS 62743-2012 Strahlenschutzinstrumentierung – Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung (Edition 1.0)

German Institute for Standardization, Parameter des Ionensputtergeräts

DIN IEC/TS 62743:2013 Strahlenschutzinstrumentierung – Elektronische Zähldosimeter für gepulste Felder ionisierender Strahlung (IEC/TS 62743:2012)