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Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie-Testmethode für Metallverunreinigungen auf der Oberfläche von Siliziumwafern

Für die Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie-Testmethode für Metallverunreinigungen auf der Oberfläche von Siliziumwafern gibt es insgesamt 2 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie-Testmethode für Metallverunreinigungen auf der Oberfläche von Siliziumwafern die folgenden Kategorien: Prüfung von Metallmaterialien, Halbleitermaterial.

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie-Testmethode für Metallverunreinigungen auf der Oberfläche von Siliziumwafern

GB/T 24578-2015 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie
GB/T 24578-2009 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie