Für die Methoden zur Messung der Oberflächenkontamination gibt es insgesamt 5 relevante Standards.
In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Methoden zur Messung der Oberflächenkontamination die folgenden Kategorien: Längen- und Winkelmessungen, Strahlenschutz.
+++++ Methode zur Messung der Dicke einer dünnen Siliziumdioxidschicht auf einer Siliziumoberfläche mit einem Ellipsometer, Verfahren zur Messung der Dicke dünner Siliziumdioxidschichten auf Siliziumoberflächen mittels Ellipsometrie, Verfahren zur Messung der Oberflächenrauheit gesputterter Filme unter Verwendung eines Rasterkraftmikroskops, Standardtestmethode zur instrumentellen Messung der Abbildungsklarheit und des Glanzes von Beschichtungsoberflächen, So messen Sie die Oberflächenspannung von Festkörpern, Messmethoden für Oberflächenspannung und Kontaktwinkel, Messmethode für die spezifische Pulveroberfläche, Methoden zur Messung radioaktiver Oberflächenkontamination, Methoden zur Messung der Oberflächenkontamination.
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