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シラン中のシリコン含有量

シラン中のシリコン含有量は全部で 5 項標準に関連している。

シラン中のシリコン含有量 国際標準分類において、これらの分類:金属材料試験。


Inner Mongolia Provincial Standard of the People's Republic of China, シラン中のシリコン含有量

  • DB15/T 1241-2017 シラン法により製造された多結晶シリコンの排ガス中のシラン含有量のガスクロマトグラフィーによる定量
  • DB15/T 1242-2017 ガスクロマトグラフィー質量分析によるクロロシラン中のヘキサクロロシロキサン含有量の測定

工业和信息化部, シラン中のシリコン含有量

  • YS/T 1290-2018 ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコン製造排ガス中のシラン含有量の測定
  • YS/T 1060-2015 ガスクロマトグラフィーによるシリコンエピタキシー用トリクロロシラン中のその他のクロロシランの定量

Group Standards of the People's Republic of China, シラン中のシリコン含有量

  • T/CNIA 0017-2019 誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコンのクロロシラン中の不純物含有量の測定




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