20200605 半导体材料及器件检测技术


2020年06月05日 09:30

2020年06月05日 12:00

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先进材料  

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内容简介

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,可用来制作功率器件、晶体管、集成电路、光电器件等。半导体材料的价值在于其能够与多种介质有所联系,诸如它的光学、电学特征则可充分应用于器件,而且随着社会的不断进步与现代科学技术的快速发展,愈来愈多的半导体材料同现代高科技相互结合,其产品能够更好地为人类服务并且改变人类的生活。

本次研讨会,分析测试百科网将邀请行业专家,同大家分享半导体材料及器件检测技术,希望能对行业内工作者带来帮助和启发。

【日程安排

时间 报告人
单位
报告题目
09:30-10:00 冯先进 研究员 北矿检测技术有限公司 《无机质谱技术及其在半导体材料元素检测的应用》
10:00-10:30 陈燕杰
珀金埃尔默
《ICPMS在半导体行业中的应用》
10:30-11:00 马岚 牛津仪器 《EDS及EBSD在半导体失效分析中的应用进展》
11:00-11:30 陈培
Park原子力显微镜
《原子力显微镜在半导体中计量中应用》
11:30-12:00
李超
中国仪器协会近红外分会委员
扫描近场光学显微技术在半导体行业的应用

【报告简介】

《ICPMS在半导体行业中的应用》

杂质金属离子是半导体行业中最为重要的监控对象,是决定制程中废品产品的一个重要原因。试看PerkinELmer公司 NexION系列ICPMS的独特设计是如何助力为半导体客户解决制程中杂质金属的检测。

《EDS及EBSD在半导体失效分析中的应用进展》

失效分析是半导体产业中不可或缺的重要环节,其结果可以帮助确认设计上的缺陷、工艺参数的不匹配或操作流程不当等问题,进而提高成品的产品质量及可靠性。能谱(EDS)及电子背散射衍射技术(EBSD)作为重要的失效分析手段,可以提供失效部件的元素及结构异常,但半导体器件的高度集成、结构细微、元素复杂及对束流敏感等因素大大限制了EDS及EBSD的应用。牛津仪器的Ultim Max能谱及cmos EBSD电子背散射分析系统,大大提高了失效附件的成分及结构分析时所需的速度、精确度的同时降低了对束流的要求,因此可应用于更多半导体样品中。本报告中我们将从能谱及EBSD的基础着手,解释在半导体相关行业中进行EDS及EBSD分析过程中的难点及相关应对方法,并通过结合实际案例来说明现代的EDS及EBSD可以在该领域中获得怎样的数据结果以及怎样获得这些结果。

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主讲人简介

冯先进

研究员,主要从事原子光谱仪器及应用的研究工作。共参与或主持了国家级、部级、市级和院级科研项目30余项,获各类成果奖15余项,其中获省部级(协会)特等奖1项,一等奖3项,二等奖6项,三等奖1项;获国家发明专利3项;国内外刊物及国际国内会议发表论文50余篇;参与出版著作9部;参与起草国际标准2项,主起草或参与起草国家标准和行业标准60余项,其中5类标准分获全国有色金属标准化委员会技术标准优秀奖一、二等、三等奖。

陈燕杰

就职于珀金埃尔默,任无机产品高级应用工程师,主要服务半导体行业客户,提供半导体行业应用方法开发及客户培训等工作。

李超

2010年毕业于上海复旦大学化学系,硕士研究生,中国仪器协会近红外分会委员,从事多年的仪器分析、有机合成、及数理统计等方面的基础科学研究,具有丰富的实验室科研及实践经验。2010年起加入中国烟草公司,现为项目工程师,从事烟草化学、仪器分析、大数据等方面的研究工作。第一作者发表SCI论文10篇,IF均>2,中文核心期刊70余篇、授权国家专利80余件,研究或省部级科技进步奖2项,地厅级科技进步奖10项。

马岚

2012年获得上海交通大学材料学博士学位,博士研究镁合金的时效强化及变形机制。2012-2015年间在日本物质材料研究所进行博后工作,研究课题为高强韧镁合金的开发及磁性材料微结构表征,熟悉掌握FIB及纳米操作手。2015年加入牛津仪器,主要负责能谱、EBSD、OP的推广及技术支持

陈培

资深工程师,长期从事测量力学性能的纳米尺度的表征,加入帕克(Park)公司后,主要从事原子力显微镜在计量领域的应用。

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