激光干涉仪测量精度一般是多少
2022.8.24
激光干涉仪是可以测角度的，主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。
sj6000激光干涉仪测量角度工作原理如下：
角度反射镜旋转时产生转角，或是移动过程中产生角摆，两束反射光会有相对应的光程差产生，sj6000采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的角度值。
激光干涉仪测量角度基本配置：
角度测量配置主要由sj6000主机、角度镜组、sj6000静态测量软件等组件构成，可满足±10°范围内的角度测量。
▲ 运动轴的俯仰角度测量示意图
▲ 运动轴的偏摆角度测量示意图
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激光干涉仪
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