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扫描电子显微镜结构

2018.8.24

jmca

致力于为分析测试行业奉献终身

扫描电子显微镜的主要结构

1.电子光学系统:电子枪;聚光镜(*、第二聚光镜和物镜);物镜光阑。

2.扫描系统:扫描信号发生器;扫描放大控制器;扫描偏转线圈。

3.信号探测放大系统:探测二次电子、背散射电子等电子信号。

4.图象显示和记录系统:早期sem采用显象管、照相机等。数字式sem采用电脑系统进行图象显示和记录管理。

5.真空系统:真空度高于 10 -4 torr 。常用:机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵。

6.电源系统:高压发生装置、高压油箱。

扫描电子显微镜,简称扫描电镜、sem可以应用于多个领域,例如:

(1)生物:种子、花粉、细菌……

(2)医学:血球、病毒……

(3)动物:大肠、绒毛、细胞、纤维……

(4)材料:陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂……

(5)化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌) 、机械、电机及导电性样品,......

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