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电子显微镜操作过程

扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项

一、 样品制备 将分散好的样品滴于铜片上,干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。 对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层,通常为蒸金:将样品座置于蒸金室中,合上盖子,打开通气阀门,对蒸金室进行抽真空。选择好适当的蒸金时间,达到真空度定好时间后加电压并开始计时,保持电流值,时间到后关闭电压,关闭仪器。取出样品。(注意:打开蒸金室前必须先关闭通气阀门,以防液体倒流。) 二、 扫描电镜的操作 1. 安装样品 1) 按“vent ”直至灯闪,对样品交换室放氮气,直至灯亮; 2) 松开样品交换室锁扣,打开样品交换室,取下原有的样品台,将已固定好样品的样品台,放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度,并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面); 3) 关闭样品交换室门,扣好锁扣; 4) 按“evac ”按钮,开始抽真空,“......

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技术参数:1.分辨率: 二次电子:  高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV  高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项)  低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm

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