电子显微镜原理图解
2023.2.01
扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源；
点光源在加速电压下形成高能电子束；高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点，在透过最后一级带有扫描线圈的电磁透镜后，电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面，同时激发出不同深度的电子信号。
此时，电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收，通过放大器同步传送到电脑显示屏，形成实时成像记录（图a）。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有：俄歇电子（au e）、二次电子（se）、背散射电子（bse）、x射线（特征x射线、连续x射线）、阴极荧光（cl）、吸收电子（ae）和透射电子（图b）。每种电子信号的用途因作用深度而异。
图 a.扫描电子显微镜原理图;b.扫描电子显微镜电子信号示意
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