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一、美国OAI公司介绍:OAI是一家位于美国硅谷的先进精密设备制造商,有着40多年的研发、制造经验。该公司生产的产品用于 MEMS、半导体、纳米技术、微流体、M......
一、URE-2000/35紫外掩膜光刻机产品特征:URE-2000/35采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准......
一、URE-2000A型紫外掩膜式光刻机技术参数1. 曝光面积:150mmX150mm2. 曝光波长:365nm3. 分辨率:0.8~1μm (胶厚 2μm的正......