JB/T 8945-1999
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant
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- 标准号
- JB/T 8945-1999
- 发布日期
- 1999年07月12日
- 实施日期
- 2000年01月01日
- 废止日期
- 2010-07-01
- 中国标准分类号
- J78
- 发布单位
- CN-JB
- 代替标准
- JB/T 8945-2010
- 适用范围
- 本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，榆验规则，标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10^(-4)～5×10^(-3)Pa范围的真空贱射镀膜设备。