JB/T 8945-1999
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant
JB/T 8945-1999 发布历史
本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，榆验规则，标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10^(-4)～5×10^(-3)Pa范围的真空贱射镀膜设备。
JB/T 8945-1999由行业标准-机械 CN-JB 发布于 1999-07-12，并于 2000-01-01 实施，于 2010-07-01 废止。
JB/T 8945-1999 在中国标准分类中归属于: J78 真空技术与设备。
JB/T 8945-1999的历代版本如下：
- 1999年07月12日 JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备
- 2010年02月11日 JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备
JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备 于 2010-02-11 变更为 JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备。
- 标准号
- JB/T 8945-1999
- 发布日期
- 1999年07月12日
- 实施日期
- 2000年01月01日
- 废止日期
- 2010-07-01
- 中国标准分类号
- J78
- 发布单位
- CN-JB
- 代替标准
- JB/T 8945-2010
- 适用范围
- 本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数，技术要求，试验方法，榆验规则，标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10^(-4)～5×10^(-3)Pa范围的真空贱射镀膜设备。