SJ/T 31273-1994
EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines

SJT31273-1994, SJ31273-1994


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SJ/T 31273-1994
标准号
SJ/T 31273-1994
别名
SJT31273-1994
SJ31273-1994
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 31273-1994
 
 
本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。

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SJ/T 31273-1994 中可能用到的仪器设备

电镜制样设备 其他试验机 离子溅射仪 镀膜机 真空泵 真空计


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