JB/T 4082-1991
溅射离子泵.技术条件
- 标准号
- JB/T 4082-1991
- 发布日期
- 1991年07月22日
- 实施日期
- 1992年07月01日
- 废止日期
- 2012-04-01
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
- 发布单位
- CN-JB
- 代替标准
- JB/T 4081-2011
- 适用范围
- 本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。