SJ/T 10584-1994
微电子学光掩蔽技术术语
Glossary of photomasking techniques for microelectronics
SJT10584-1994, SJ10584-1994
- 标准号
- SJ/T 10584-1994
- 别名
- SJT10584-1994, SJ10584-1994
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 10584-1994
- 适用范围
- 本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。