GB/T 16880-1997
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
Guidelines for photomask defect classification and size definition
GBT16880-1997, GB16880-1997
- 标准号
- GB/T 16880-1997
- 别名
- GBT16880-1997, GB16880-1997
- 发布
- 1997年
- 采用标准
- SEMI P22-1993 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 16880-1997
- 适用范围
- 本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
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