SJ 3244.2-1989
砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
Methods of measurement for crystal lattice mismatch between substrate of Gallium arsenide and Indium phosphide and extended layer of heterojunction
2010-02
- 标准号
- SJ 3244.2-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 3244.2-1989
- 适用范围
- 本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。 本标准适田于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5^(·)。多层外延层总厚度不大于10μm。
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