SJ 3244.3-1989
砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法已作废

Methods of measurement for crystal-orientation of single crystal of Gallium arsenide and Indium phosphide

标准号

SJ 3244.3-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。 本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。