SJ 3244.3-1989
砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法

Methods of measurement for crystal-orientation of single crystal of Gallium arsenide and Indium phosphide

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SJ 3244.3-1989

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标准号
SJ 3244.3-1989
发布日期
1989年03月20日
实施日期
1989年03月25日
废止日期
2010-02-25
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
发布单位
行业标准-电子
适用范围
本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。 本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。

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