SJ 3244.3-1989
砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法
Methods of measurement for crystal-orientation of single crystal of Gallium arsenide and Indium phosphide
2010-02
- 标准号
- SJ 3244.3-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 3244.3-1989
- 适用范围
- 本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。 本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。
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