SJ 3245-1989
磷化铟单晶位错的测量方法
Methods for measuring dislocation of Indium phosphide single-crystal
- 标准号
- SJ 3245-1989
- 发布
- 1989年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 3245-1989
- 适用范围
- 本标准规定了磷化铟单晶(100)面和(111)In面位错的腐蚀显示及显微测量的原理、仪器试剂、测量步骤。 本标准适用于位错密度在0～10^(5)/cm^(2)范围的单晶测量，被检测晶面的晶向偏差在5°以内。
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